Electrostatical coupling-spring for ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications
Auteur(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2003
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 2003 International Symposium on Circuits and Systems, ISCAS 2003
Éditeur :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Date de publication :
2003
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL