Title :

A novel approach using picosecond ultrasonics at variable laser-wavelength for the characterization of AlN films used for microsystem applications

Author(s) :

Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Caruyer, G. [Auteur]
Zinck, C. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]

Start date of the conference :

2003

Book title :

Proceedings of the 5th World Congress on Ultrasonics, WCU 2003

Publisher :

Laboratoire Ondes et Acoustique, Paris, France

Publication date :

2003

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL