Electron-beam-induced reactivation of Si ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated 2D AlGaAs heterostructures : a possible new route of fabricating III-V nanostructures
Author(s) :
Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Start date of the conference :
2004
Book title :
Journal of Physics. Condensed Matter, 16
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :