Fabrication de réseaux de Bragg particuliers ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Fabrication de réseaux de Bragg particuliers par lithographie électronique : application à la réalisation de dispositifs photoniques et optoélectroniques sur matériaux de la filière InP
Auteur(s) :
Garidel, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2004
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :