Numerical analysis of the process induced ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Numerical analysis of the process induced stresses in micromachined cantilever
Author(s) :
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoffmann, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoffmann, T. [Auteur]
Start date of the conference :
2004
Book title :
Proceedings of the 1st International Symposium on Micro & Nano Technology, ISMNT-1
Publisher :
Pacific Center of Thermal Fluid Engineering, HI, USA
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :