Electrostatic actuated microgripper using ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Electrostatic actuated microgripper using an amplification mechanism
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernardoni, P. [Auteur]
Regnier, S. [Auteur]
Bidaud, P. [Auteur]
Tsitsiris, E. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernardoni, P. [Auteur]
Regnier, S. [Auteur]
Bidaud, P. [Auteur]
Tsitsiris, E. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Journal title :
Sensors and Actuators A: Physical
Pages :
371-378
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2004
ISSN :
0924-4247
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :