Transmission electron microscopy of iridium ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Transmission electron microscopy of iridium silicide contacts for advanced MOSFET structures with Schottky source and drain
Author(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Journal title :
Journal of Alloys and Compounds
Pages :
24-28
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2004
ISSN :
0925-8388
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :