Transmission electron microscopy of iridium ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Transmission electron microscopy of iridium silicide contacts for advanced MOSFET structures with Schottky source and drain
Auteur(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Titre de la revue :
Journal of Alloys and Compounds
Pagination :
24-28
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2004
ISSN :
0925-8388
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :