Design of silicon-pTMDS bioMEMS by cold RPECVD
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Design of silicon-pTMDS bioMEMS by cold RPECVD
Author(s) :
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
BOURZGUI, Nour-Eddine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guhel, Yannick [Auteur]
Mille, Vianney [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
BOURZGUI, Nour-Eddine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guhel, Yannick [Auteur]
Mille, Vianney [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Nonimaging Optics and Efficient Illumination Systems
City :
Denver, CO
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2004-08-02
Book title :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 5345
Publisher :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Publication date :
2004
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :