Title :

Modélisation de cMUT à l'aide d'un couplage direct électrostatique-mécanique et d'un couplage éléments finis-équations intégrales

Author(s) :

Ekeom, D. [Auteur]
Hladky, Anne-Christine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Start date of the conference :

2006

Book title :

Actes du 8ème Congrès Français d'Acoustique, CFA2006

Publisher :

Société Française d'Acoustique, Paris, France

Publication date :

2006

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL