Title :

Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation using a Pt/Er stack on a thin silicon-on-insulator substrate

Author(s) :

Łaszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Tang, Xing [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

Proceedings of the XII International Conference on Electron Microscopy of Solids, EM'2005

City :

Kazimierz Dolny

Country :

Pologne

Start date of the conference :

2005

Publication date :

2005

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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