Diffusion of boron in silicon : compatibility ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
Title :
Diffusion of boron in silicon : compatibility of empirical molecular dynamics with continuum simulations
Author(s) :
Cuny, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Brulin, Q. [Auteur]
Lampin, E. [Auteur]
Lecat, E. [Auteur]
Krzeminski, C. [Auteur]
Cleri, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Brulin, Q. [Auteur]
Lampin, E. [Auteur]
Lecat, E. [Auteur]
Krzeminski, C. [Auteur]
Cleri, F. [Auteur]
Publisher :
European Physical Society/EDP Sciences/Società Italiana di Fisica/IOP Publishing
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Submission date :
2021-07-27T23:02:43Z