Contribution à la modélisation électrique ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Contribution à la modélisation électrique des interconnexions « cuivre » dans les circuits intégrés ULSI : application aux technologies 0.25, 0.13 microns et 70 nanomètres
Author(s) :
El Bouazzati, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2005
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :