Ion beam etching of PZT thin films : ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced
Author(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Journal title :
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY
Pages :
2269-2272
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0955-2219
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :