Title :

Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications

Author(s) :

Delobelle, P. [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, O. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]

Start date of the conference :

2005

Book title :

Integrated Ferroelectrics, 69

Publisher :

Gordon & Breach, The Netherlands

Publication date :

2005

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL