Determination by indentation method of ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications
Author(s) :
Delobelle, P. [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, O. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, O. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Journal title :
Integrated Ferroelectrics
Pages :
213-221
Publisher :
Taylor & Francis
Publication date :
2005
ISSN :
1058-4587
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :