Dry etching of PZT thin films for bilayer ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization
Author(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Journal title :
Integrated Ferroelectrics
Pages :
203-211
Publisher :
Taylor & Francis
Publication date :
2005
ISSN :
1058-4587
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :