Dry etching of PZT thin films for bilayer ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization
Auteur(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Titre de la revue :
Integrated Ferroelectrics
Pagination :
203-211
Éditeur :
Taylor & Francis
Date de publication :
2005
ISSN :
1058-4587
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :