Interfacial layer in the high-k dielectrics ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Interfacial layer in the high-k dielectrics : characterization and suppression
Author(s) :
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tao, M. [Auteur]
Moumen, N. [Auteur]
Moldonado, E. [Auteur]
Kirk, W.P. [Auteur]
Song, G. [Auteur]
Bai, W. [Auteur]
Kwong, D.L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tao, M. [Auteur]
Moumen, N. [Auteur]
Moldonado, E. [Auteur]
Kirk, W.P. [Auteur]
Song, G. [Auteur]
Bai, W. [Auteur]
Kwong, D.L. [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the 208th Meeting of the Electrochemical Society
Publisher :
The Electrochemical Society Inc, Pennington, NJ, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :