Impact of large angle tilt implantation ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Impact of large angle tilt implantation on the threshold voltages of LDMOS transistors on SOI
Author(s) :
Xu, H. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Bardy, S. [Auteur]
Murray, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Bardy, S. [Auteur]
Murray, F. [Auteur]
Journal title :
Materials Science and Engineering: B
Pages :
323-326
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0921-5107
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :