Impact of large angle tilt implantation ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Impact of large angle tilt implantation on the threshold voltages of LDMOS transistors on SOI
Auteur(s) :
Xu, H. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Bardy, S. [Auteur]
Murray, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Bardy, S. [Auteur]
Murray, F. [Auteur]
Titre de la revue :
Materials Science and Engineering: B
Pagination :
323-326
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2005
ISSN :
0921-5107
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :