Titre :

Microtechnologie des alliages à mémoire de forme

Auteur(s) :

Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chaillet, N. [Auteur]

Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :

DE LABACHELERIE M.

Titre de l’ouvrage :

Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs

Éditeur :

Hermès Sciences

Date de publication :

2004-05

Langue :

Français

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

Traité EGM,série Microsystèmes, ISBN 2-7462-0818-0

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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