Title :

Procédés d'usinage de surface sur silicium

Author(s) :

Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Agache, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, Olivier [Auteur]

Scientific editor(s) :

DE LABACHELERIE M.

Book title :

Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Publisher :

Hermès Sciences

Publication date :

2004-05

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Comment :

Traité EGEM, série Microsystèmes, ISBN 2-7462-0817-2

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL