Titre :

Procédés d'usinage de surface sur silicium

Auteur(s) :

Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Agache, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, Olivier [Auteur]

Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :

DE LABACHELERIE M.

Titre de l’ouvrage :

Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Éditeur :

Hermès Sciences

Date de publication :

2004-05

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Français

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

Traité EGEM, série Microsystèmes, ISBN 2-7462-0817-2

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL