Determination of the d31 piezoelectric ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
Title :
Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PbZrxTi1−xO3 thin films using multilayer buckled micromembranes
Author(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, C. [Auteur]
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Submission date :
2021-07-27T23:20:16Z