Title :

Numerical analysis of the process induced stresses in silicon microstructures : application to micromachined cantilever

Author(s) :

Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoffmann, T. [Auteur]
Armigliato, A. [Auteur]
de Wolf, I. [Auteur]

Journal title :

Smart Materials and Structures

Pages :

S47-S56

Publisher :

IOP Publishing

Publication date :

2006

ISSN :

0964-1726

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL