Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS
Author(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Conference title :
Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies
City :
Autrans
Country :
France
Start date of the conference :
2006
Publication date :
2006
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :