Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS
Auteur(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies
Ville :
Autrans
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Date de publication :
2006
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :