Variation of absorption coefficient and ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm
Auteur(s) :
Gaudet, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Camart, J.C. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Camart, J.C. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Éditeur :
American Institute of Physics
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T23:25:03Z