Fabrication and optimization of bimorph ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells
Auteur(s) :
Cho, Y.H. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Kim, B.J. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Kim, B.J. [Auteur]
Titre de la revue :
Microsystem Technologies
Pagination :
30-37
Éditeur :
Springer Verlag
Date de publication :
2005
ISSN :
0946-7076
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :