Electrostatic actuators operating in liquid ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electrostatic actuators operating in liquid environment : position control without pull-in effect
Author(s) :
Rollier, A.S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of 2005 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2005
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :