Influence of the deposition parameters on ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Influence of the deposition parameters on the texture of boron nitride thin films synthesized in a microwave plasma-enhanced reactor
Author(s) :
Thévenin, P. [Auteur]
Eliaoui, M. [Auteur]
Ahaitouf, A. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bath, A. [Auteur]
Eliaoui, M. [Auteur]
Ahaitouf, A. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bath, A. [Auteur]
Journal title :
Surface and Coatings Technology
Pages :
6444-6448
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2006
ISSN :
0257-8972
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :