Reliability of non-released microstructures ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Reliability of non-released microstructures : failure analysis and innovative solution process
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Muller, P. [Auteur]
Blanrue, O. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Muller, P. [Auteur]
Blanrue, O. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the 13th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS'05
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :