Tunable passband T-filter electrostatically ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Journal title :
Sensors and Actuators A: Physical
Pages :
115-120
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0924-4247
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :