Conception de microsystèmes à base d'actionneurs en SU8 pour la manipulation de micro-objets en milieu liquide et transfert vers milieu quasi-sec

Lagouge, Matthieu

Document type :

Thèse

Title :

Conception de microsystèmes à base d'actionneurs en SU8 pour la manipulation de micro-objets en milieu liquide et transfert vers milieu quasi-sec

English title :

Design, fabrication and characterization of SU8-based microactuators for manipulation of micro-objects in wet environment and extraction from a wet to an almost-dry environment

Author(s) :

Lagouge, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Thesis director(s) :

Dominique Collard(dominique.collard@isen.iemn.univ-lille1.fr)

Defence date :

2006-01-30

Jury president :

Alain Cappy (président du jury)
Lionel Buchaillot (co-encadrant)
Alain Bosseboeuf (rapporteur)
Tijani Gharbi (rapporteur)
Eric Leclerc (membre invité)
Bernard Vandenbunder (membre invité)

Jury member(s) :

Alain Cappy (président du jury)
Lionel Buchaillot (co-encadrant)
Alain Bosseboeuf (rapporteur)
Tijani Gharbi (rapporteur)
Eric Leclerc (membre invité)
Bernard Vandenbunder (membre invité)

Accredited body :

Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I

Doctoral school :

Microondes et Microtechnologies

Keyword(s) :

micro-électro-mécanique
microsystèmes
microtechnologie
SU8
micro-objets
cellules
actionneurs
diélectrophorèse
électrostatique
thermique

English keyword(s) :

mems
microsystems
microtechnology
microobjects
cells
actuators
dielectrophoresis
electrostatic
thermal

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

French abstract :

Le développement des technologies microsystèmes a permis l'apparition de composants capables de manipuler et d'effectuer des mesures sur des microobjets, en utilisant des techniques variées. Ces travaux présentent une ...
Show more >Le développement des technologies microsystèmes a permis l'apparition de composants capables de manipuler et d'effectuer des mesures sur des microobjets, en utilisant des techniques variées. Ces travaux présentent une contribution aux outils de manipulation de microobjets, en s'appuyant sur des actionneurs en résine SU8 et des microcanaux gravés dans le silicium.<br />Le premier système proposé est une microsonde en silicium polycristallin et en résine SU8 dotée d'une pointe, dont la fonction est de descendre dans un microcanal et effectuer des mesures électriques sur des microobjets. Après une phase de conception, un compterendu de la fabrication et des tests sont proposés.<br />Cette première étape permet de poursuivre sur un système d'extraction de microobjets d'un milieu liquide vers un milieu sec. Celuici comporte un système de convoyage diélectrophorétique et un actionneur en résine SU8 et or. La conception, la fabrication, et les tests ont permis finalement de démontrer le potentiel en terme d'automatisation d'un tel microsystème.Show less >

English abstract : [en]

The development of microsystems technologies has enabled the emergence of devices able to manipulate and make measurements on microobjects using different techniques. This study proposes a contribution to microobject ...
Show more >The development of microsystems technologies has enabled the emergence of devices able to manipulate and make measurements on microobjects using different techniques. This study proposes a contribution to microobject manipulation tools, built using SU8 photoresist made actuators and microchannels etched in silicon.<br />The first proposed system is a polycrystal silicon and SU8 photoresist based microprobe, equipped with a tip, that is designed to enter into a microchannel and perform electrical measurements on microobjects. After an inital design stage, the fabrication process and testing of the device are proposed.<br />This first step allows to go on on a microobject extraction system, from wet to dry environment. This sysem includes a dielectrophoretic conveying system and a SU8 resist and gold based actuator. The design, fabrication and testing shows a high potential in terms of automatizaton for this kind of microsystem.Show less >

Language :

Français

Collections :