Title :

Microtechnologies des systèmes millimétriques et submillimétriques

Author(s) :

Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carbonell, Jorge [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

Actes de la 2e Journée Nationale Microtechnologies, Villeneuve d'Ascq, 27 Mars 1995

Country :

France

Start date of the conference :

1995

Publication date :

1995

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Comment :

E. Lheurette, P. Salzenstein et J. Carbonell, "Microtechnologies des systèmes millimétriques et submillimétriques", 2e Journée Nationale Microtechnologies, Villeneuve d'Ascq, 27 Mars 1995

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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