Usinage de membranes diélectriques sur ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues
Author(s) :
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Actes de la 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996
Country :
France
Start date of the conference :
1996
Publication date :
1996
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Comment :
P. Salzenstein, O. Dupuis, E. Lheurette, "Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues", 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996, pp. 112-113
Source :