A Bi-stable Micro-machined Piezoelectric ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
A Bi-stable Micro-machined Piezoelectric Transducer for Mechanical to Electrical Energy Transformation
Auteur(s) :
Dogheche, Karim [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cavallier, B. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Delobelle, P. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Hirsinger, L. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Marzencki, M. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Charlot, B. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Basrour, Skandar [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Ballandras, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cavallier, B. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Delobelle, P. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Hirsinger, L. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Marzencki, M. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Charlot, B. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Basrour, Skandar [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Ballandras, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Titre de la manifestation scientifique :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP'05), June 1-3
Ville :
Montreux
Pays :
Suisse
Date de début de la manifestation scientifique :
2005
Titre de l’ouvrage :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP'05), June 1-3
Éditeur :
TIMA
Date de publication :
2005
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Résumé en anglais : [en]
This paper presents a scavenging energy application of piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUT). The micro power generator is composed by a silicon membrane (600µm diameter and 1µm thickness) with a 2µm ...
Lire la suite >This paper presents a scavenging energy application of piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUT). The micro power generator is composed by a silicon membrane (600µm diameter and 1µm thickness) with a 2µm thick PZT layer. The mechanical energy is converted to electrical energy through the piezoelectric effect as the bi-stable device switches between two stable states. We have experimentally tested the result of such a state change due to a simple rotation of the device in the gravity field by connecting the device to a high sampling-rate oscilloscope. The effect of the state change is a very sharp signal (larger than IV during 100 µs) corresponding to the stress inversion (compression).Lire moins >
Lire la suite >This paper presents a scavenging energy application of piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUT). The micro power generator is composed by a silicon membrane (600µm diameter and 1µm thickness) with a 2µm thick PZT layer. The mechanical energy is converted to electrical energy through the piezoelectric effect as the bi-stable device switches between two stable states. We have experimentally tested the result of such a state change due to a simple rotation of the device in the gravity field by connecting the device to a high sampling-rate oscilloscope. The effect of the state change is a very sharp signal (larger than IV during 100 µs) corresponding to the stress inversion (compression).Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
ISBN: 28481303571
Source :