Development of PZT-based 18 MHz 2D pMUT ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Development of PZT-based 18 MHz 2D pMUT array with PDMS waveguide
Auteur(s) :
Wang, Xu-Bo [Auteur]
He, Le-Ming [Auteur]
Liu, Wen-Juan [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Song, Shu-Ren [Auteur]
Xu, Wei Jiang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Cheng, Qian [Auteur]
Riaud, Antoine [Auteur]
Ren, Jun-Yan [Auteur]
Zhou, Jia [Auteur correspondant]
He, Le-Ming [Auteur]
Liu, Wen-Juan [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Song, Shu-Ren [Auteur]
Xu, Wei Jiang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Cheng, Qian [Auteur]
Riaud, Antoine [Auteur]
Ren, Jun-Yan [Auteur]
Zhou, Jia [Auteur correspondant]
Titre de la manifestation scientifique :
IEEE International Ultrasonics Symposium 2020, IUS2020
Ville :
Las Vegas
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2020-09-07
Titre de l’ouvrage :
IEEE International Ultrasonics Symposium (IEEE IUS 2020)
Éditeur :
IEEE
Date de publication :
2020
Mot(s)-clé(s) en anglais :
PZT
pMUTs
2D array
PDMS waveguide
pMUTs
2D array
PDMS waveguide
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Informatique [cs]
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Informatique [cs]
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Résumé en anglais : [en]
For high-resolution ultrasonic imaging, an 18 MHz lead zirconate titanate (PZT) based two-dimensional (2D) piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUTs) array with polydimethylsiloxane (PDMS) waveguide are ...
Lire la suite >For high-resolution ultrasonic imaging, an 18 MHz lead zirconate titanate (PZT) based two-dimensional (2D) piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUTs) array with polydimethylsiloxane (PDMS) waveguide are developed. The array is composed of 8 x 16 elements with a pitch of 75 mu m and each element can be independently electrically excited. The structure is fabricated by micromachining. The resonance frequency obtained in air is 18.3 MHz and 18 MHz with and without PDMS waveguide filling, respectively. The displacement responses show a sensitivity of 2.6 nm/V and a bandwidth of 14% with PDMS waveguide.Lire moins >
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Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :