Title :

Wireless drive of a MEMS ciliary motion actuator via coupled magnetic resonances using micro inductors

Author(s) :

Sakamoto, N. [Auteur]
The University of Tokyo [UTokyo]
Frappe, Antoine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Stefanelli, Bruno [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mita, Y. [Auteur]
The University of Tokyo [UTokyo]

Conference title :

TRANSDUCERS 2015 - 2015 18th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference

City :

Anchorage

Country :

Etats-Unis d'Amérique

Start date of the conference :

2015-06-21

Publisher :

IEEE

Publication date :

2015

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Smart Blocks : une surface modulaire et reconfigurable composée de MEMS pour le transport rapide d'objets fragiles et de produits pharmaceutiques

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL