Determination of the mechanical properties ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Determination of the mechanical properties of thin polyimide films deposited on a GaAs substrate by bulging and nanoindentation tests
Auteur(s) :
Poilâne, Christophe [Auteur]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, Xavier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, Xavier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Titre de la revue :
Materials Science and Engineering: A
Pagination :
101-106
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
1999-04
ISSN :
0921-5093
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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