Title :

Highly sensitive resistive SThM probes for nanoscale thermometry

Author(s) :

Swami, Raul [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Paterson, Jessy [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Singhal, Druv [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Julié, Gwennaëlle [Auteur]
Nanofabrication [NEEL - Nanofab]
Le-Denmat, Simon [Auteur]
Optique & Microscopies [NEEL - POM]
Motte, Jean-François [Auteur]
Nanofabrication [NEEL - Nanofab]
Alkurdi, Ali [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Yin, Jun [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hamaoui, Georges [Auteur]
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes [ESYCOM]
Chapuis, Pierre-Olivier [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Gomès, Séverine [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Bourgeois, Olivier [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]

Conference title :

Eurotherm 114: Nanoscale and Microscale Heat Transfer VII

City :

Palermo

Country :

Italie

Start date of the conference :

2022-05-29

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Pointes hautement sensibles pour la microscopie thermique à l'échelle nanométrique

Comment :

Oral in session S4: Scanning thermal microscopy

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL