Titre :

Characterization of carbon nitride layers deposited by IR laser ablation of graphite target in a remote nitrogen plasma atmosphere: nanoparticle evidence

Auteur(s) :

Al Khawwam, A. [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Jama, Charafeddine [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Goudmand, P. [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Dessaux, O. [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
El Achari, A. [Auteur]
Génie des Matériaux Textiles - ULR 2461 [GEMTEX]
École nationale supérieure des arts et industries textiles [ENSAIT]
Dhamelincourt, P. [Auteur]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Patrat, G. [Auteur]

Titre de la revue :

Thin Solid Films

Nom court de la revue :

Thin Solid Films

Numéro :

408

Pagination :

15-25

Date de publication :

2001-12

ISSN :

0040-6090

Mot(s)-clé(s) en anglais :

carbon nitride
laser ablation
Raman scattering
atomic force microscopy (AFM)

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

Carbon nitride layers were deposited on unheated Si(100) substrates by CO2 IR laser ablation of graphite in a remote nitrogen plasma atmosphere. The diagnostic techniques Fourier-transform infrared (FTIR) and Raman ...
Lire la suite >Carbon nitride layers were deposited on unheated Si(100) substrates by CO2 IR laser ablation of graphite in a remote nitrogen plasma atmosphere. The diagnostic techniques Fourier-transform infrared (FTIR) and Raman spectroscopy, scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD) and resistivity measurements were used to characterize the layers deposited. These characteristics were studied as a function of nitrogen pressure. The deposits have a granular structure with a fairly rough surface, as observed by SEM and AFM. Raman spectroscopy shows a change in the size of sp2 cluster domains and gives an idea of the disorder of the deposit network. These cluster-size changes, in accordance with the AFM and SEM analyses, induce some modification of the deposit porosity, which could explain the increase in film resistivity. The XRD measurements indicate that the deposit could contain some α-C3N4 crystals that are dispersed in an amorphous graphite like phase.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Établissement(s) :

Université de Lille
ENSAIT
Junia HEI

Collections :

• Génie des matériaux textiles (GEMTEX) - ULR 2641
• Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement (LASIRE) - UMR 8516

Date de dépôt :

2023-06-20T06:49:41Z
2024-03-25T10:07:11Z