Nano-Lithography based on Silicon Oxidation ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques
Auteur(s) :
Fontaine, Paul-Aymeric [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Stiévenard, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
Ville :
Kyoto
Pays :
Japon
Date de début de la manifestation scientifique :
1997-06
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL