Nano-Lithography on Silicon Surfaces with an SPM Operating in Air

Type de document :

Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes

Titre :

Auteur(s) :

Stiévenard, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Fontaine, Paul-Aymeric [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Proc. of the Third European Workshop on Electrochemical Processing of Semiconduc¬tors EWEPS’96

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

1996-11

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

Nano-Lithography on Silicon Surfaces with ... BibTeX CSV Excel RIS