Title :

Thermal Annealing Impact on the Sensitivity of Piezomagnetic Surface Acoustic Waveguide to Applied Magnetic Field

Author(s) :

Marbouh, Othmane [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
L2EP - Équipe Outils et Méthodes Numériques [OMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mazzamurro, Aurélien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Bou Matar Lacaze, Olivier [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Maurice, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Boutghatin, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Dusch, Yannick [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Addad, Ahmed [Auteur]
Institut Michel Eugène Chevreul - FR 2638 [IMEC]
Viard, Romain [Auteur]
Pernod, Philippe [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Centrale Lille
Sbiaa, Rachid [Auteur]
Sultan Qaboos University [SQU]
Tounzi, Abdelmounaim [Auteur]
L2EP - Équipe Outils et Méthodes Numériques [OMN]
Benabou, Abdelkader [Auteur]
L2EP - Équipe Outils et Méthodes Numériques [OMN]
Laboratoire d’Électrotechnique et d’Électronique de Puissance - ULR 2697 [L2EP]
Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Advanced Materials Technologies

Publisher :

Wiley

Publication date :

2024-05-17

ISSN :

2365-709X

English keyword(s) :

anisotropy saturation
magnetostriction
nanostructured magnetic films
surface acoustic waveguide
thermal annealing

HAL domain(s) :

Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

English abstract : [en]

Abstract Magnetostrictive thin films, exhibit significant utility as functionalization materials for Surface acoustic wave sensors designed for magnetic field measurements. This research investigates the influence of ...
Show more >Abstract Magnetostrictive thin films, exhibit significant utility as functionalization materials for Surface acoustic wave sensors designed for magnetic field measurements. This research investigates the influence of annealing under vacuum and magnetic field at various temperatures on the magnetic properties of the FeCo/TbCo 2 thin film and therefore on the sensitivity of shear and Rayleigh acoustic waveguides functionalized with these magnetic layers. The observed effects include a reduction in magnetic anisotropy field and an increase in magnetostriction. XPS and TEM coupled with EDS microanalysis provide insights into the variations in the properties of the nanostructured magnetic film. To safeguard the magnetic film, a thin layer of SiO 2 is deposited on top, serving as a protective shield. The inclusion of this layer amplifies sensitivity to applied magnetic fields for modes with shear polarization while reducing sensitivity for Rayleigh mode. In ST‐cut Quartz, the shear waves become waveguided upon the incorporation of magnetic thin films, with further enhancement achieved by introducing a SiO 2 layer. Rayleigh waves are evanescent modes, the penetration depth is in the order of wavelength, and the addition of SiO 2 decrease the wave confinement and therefore the sensitivity. The findings are supported by a theoretical model and experimentally validated results.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Devloppement de technologies miniaturisées de capteurs SAW multiparamétres pour l'implementation du jumeau numérique des machines électriques.

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL