Step conformal solid electrolyte deposited ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès sans actes
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/13181
Titre :
Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery
Auteur(s) :
Létiche, Manon [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur] orcid refId
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Material Research Society Spring Meeting (MRS Spring 2016)
Ville :
Phoenix
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2016-03
Discipline(s) HAL :
Chimie/Chimie inorganique
Langue :
Anglais
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Établissement(s) :
CNRS
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Collections :
Équipe(s) de recherche :
Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Date de dépôt :
2019-09-25T15:21:16Z
2019-10-24T08:49:11Z
2019-10-24T08:50:32Z
Historique des modifications
Numéro de versionLienDate de modification
320.500.12210/13181*2019-10-24T08:49:53Z
120.500.12210/13181.12019-09-25T15:21:16Z

*Version sélectionnée