3D Study of an Electrostatic MEMS device ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/29976
Titre :
3D Study of an Electrostatic MEMS device taking account of the active part displacement
Auteur(s) :
Boloni, Francisc [Auteur]
Krebs, Guillaume [Auteur]
Henneron, Thomas [Auteur] refId
Tounzi, Abdelmounaim [Auteur] refId
Titre de la revue :
IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation
Nom court de la revue :
CEFC
Date de publication :
2008-05
Langue :
Anglais
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Date de dépôt :
2020-09-11T13:47:47Z