Title :

A Bi-stable Micro-machined Piezoelectric Transducer for Mechanical to Electrical Energy Transformation

Author(s) :

Dogheche, Karim [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cavallier, B. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Delobelle, P. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Hirsinger, L. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cattan, Eric [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Marzencki, M. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Charlot, B. [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Basrour, Skandar [Auteur]
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés [TIMA]
Ballandras, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]

Journal title :

Integrated Ferroelectrics

Pages :

305-315

Publisher :

Taylor & Francis

Publication date :

2006

ISSN :

1058-4587

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

English abstract : [en]

The development of micro-machined ultrasonic transducers on silicon opens new appli-cation fields for Si-based acoustic sensors operating in air or in liquids. In this work, wedescribe the fabrication of piezoelectric ...
Show more >The development of micro-machined ultrasonic transducers on silicon opens new appli-cation fields for Si-based acoustic sensors operating in air or in liquids. In this work, wedescribe the fabrication of piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUT)first dedicated to ultrasonic imaging applications that may be used as a mechanical toelectrical energy transformer for energy scavenging purpose [1]. We report on the fab-rication of PZT/Si piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUTs) firstdesigned for acoustic applications and on tests of these devices as scavenging energyexperiment.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Comment :

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP'05)

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL