Metallized SU-8 thin film patterns on ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1088/1361-6439/ab307f
Title :
Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS
Author(s) :
Baëtens, Tiffany [Auteur]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pallecchi, Emiliano [Auteur] refId
Laboratoire Pierre Aigrain [LPA]
Thomy, Vincent [Auteur] refId
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, S. [Auteur correspondant]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
095009
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2019-09-01
ISSN :
0960-1317
English keyword(s) :
Stretchable electronics
photolithography
planar processes
metallization
PDMS
SU-8
Poisson effect
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
ANR Project :
Fabrication de leviers de microscopie à force atomique pour des applications de spectroscopie Raman à exaltation de pointe
Plateforme de traitement laser pour l'électronique flexible multifonctionnelle
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Files
Thumbnail
Thumbnail
  • https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02345306/file/Baetens_et_al_Supp_Info_revised.pdf
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail